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Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
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Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

por S. J. Pearton, R.J. Shul · Springer · tapa dura · 653 pag

· ISBN 9783540667728
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Detalles del producto

Páginas: 653 pag
Autor: S. J. Pearton, R.J. Shul
Editorial: Springer
ISBN: 9783540667728
Formato: tapa dura
Idioma: en
Publicación: 1/10/2000

ISBN: 9783540667728

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Sinopsis de Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

El 'Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques' es una guía exhaustiva sobre las técnicas avanzadas de procesamiento de plasma. Publicado en octubre de 2000, este libro de tapa dura de 653 páginas explora las aplicaciones industriales de las descargas luminiscentes y el plasma etching. Cubre temas como la física del plasma, la ciencia de los materiales y la ingeniería mecánica, ofreciendo una visión profunda del diseño y la construcción de circuitos integrados y la ingeniería de plasma.



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